THYRACONT VCP63MV **压力传感器（耐腐蚀型，DN16 KF 法兰）

一、核心技术参数

二、产品特性

1. 耐腐蚀设计

• 材料适配：铂铑灯丝抗化学腐蚀（如 Cl₂、NO₂、腐蚀性蒸汽），不锈钢法兰（如 316L）耐酸碱，适合半导体蚀刻、化工真空蒸馏等场景。

• 密封结构：ISO-KF 法兰配氟橡胶 O 型圈（可选全金属密封，需定制），防止腐蚀性气体泄漏。

2. 高精度与稳定性

• 温度补偿：内置数字温度传感器，补偿环境温度变化（典型漂移≤0.5% FS/°C），确保 - 10°C～+50°C 范围内测量稳定。

• 专利技术：脉冲斜坡原理减少灯丝老化影响，延长寿命（典型寿命≥5 年，或 10⁶次测量循环）。

3. 宽量程对数输出

• 对数特性：2.2 V 对应 10⁻⁴ hPa，8.5 V 对应 1000 hPa，后端 PLC/DAS 可通过对数转换公式线性化处理（如 P=10(V−2.2)/0.1）。

• 分辨率：全量程分辨率≤0.1% FS（10⁻⁴ hPa 档分辨率 1×10⁻⁶ hPa，常压档 1 hPa）。

三、典型应用场景

1. 腐蚀性气体环境

• 半导体制造：等离子蚀刻机、CVD 沉积设备的真空监测（如 SF₆、NF₃等腐蚀性气体）。

• 化工行业：真空蒸馏塔、反应釜的压力控制（如盐酸、氯气环境）。

2. 精细真空测量

• 科研设备：质谱仪、真空镀膜机的本底压力监测（10⁻⁴ hPa 级精度）。

• 医疗设备：真空吸附系统（如手术台、制药冻干机）的泄漏检测。

3. 工业真空系统

• 包装机械：真空包装机的压力闭环控制（确保密封腔压力稳定在 10–100 hPa）。

• 真空冶金：退火炉、熔炼炉的气氛压力监控（抗高温辐射，需选配高温版本）。

四、安装与接线

1. 机械安装

• 法兰连接：使用 ISO-KF16 快拆法兰，搭配真空脂润滑 O 型圈（建议 THYRACONT 原厂配件），拧紧力矩≤5 N・m（避免法兰变形）。

• 安装方向：垂直或水平安装，灯丝轴线与气流方向平行，远离振动源（振动≥10 g 时需加装阻尼支架）。

2. 电气连接（Hirschmann 6 针公头）

   引脚	功能（推测）	说明
   1	电源 +（VCC）	24 VDC（±10%，典型功耗≤50 mA）
   2	电源 -（GND）	接地（屏蔽层共地）
   3	信号输出（LOG OUT）	2.2–8.5 V 对数电压（负载≥10 kΩ）
   4	校准信号（CAL）	预留（工厂校准用，用户勿短接）
   5-6	温度补偿输入 / 输出	连接外部温度传感器（可选功能）
   注：实际引脚定义需以手册为准，建议使用原厂电缆（如 THYRACONT 6 芯屏蔽线）。

3. 校准与调试

• 零点校准：在 1000 hPa（常压）下，输出应≥8.3 V（允许 ±0.2 V 偏差），否则需通过配套软件（如 THYRACONT VCal）校准。

• 真空校准：连接真空泵至 10⁻⁴ hPa，输出应≤2.4 V（偏差≤±0.1 V），长期使用建议每年一次原厂校准。

五、环境与可靠性

六、选型与替代方案

七、注意事项

1. 介质清洁：被测气体需过滤至≤5 μm 颗粒（避免灯丝污染），潮湿环境需加装气水分离器（露点≤-20°C）。

2. 信号处理：对数输出需通过 PLC 编程转换（如西门子 S7 系列使用 LN 函数），或搭配 THYRACONT 信号转换器（如 VCP-Converter）输出 4–20 mA。

3. 故障排查

• 输出异常：若电压超出 2.2–8.5 V 范围，检查电源电压、法兰密封（泄漏导致压力异常）或灯丝损坏（需返厂检测）。

• 漂移过大：确认环境温度是否在 - 10°C～+50°C 内，否则需加装恒温罩。

八、合规与认证

• 安全认证：CE 认证（符合低电压指令 LVD 2014/35/EU）。

• 环保合规：RoHS 2011/65/EU（无铅、汞等有害物质，不锈钢与铂铑材料可回收）。

• 行业标准：符合 ISO 3665 真空技术标准，适配 ATEX 防爆认证（需定制防爆型，型号后缀加 “EX”）。

注：该传感器通过耐腐蚀材料和专利测量原理，成为恶劣气体环境下真空测量的优选方案。选型时需明确介质成分、温度及输出需求，复杂工况建议联系 THYRACONT 技术支持获取定制化解决方案。