一、产品概述

品牌：INFICON（英福康）
系列：CrystalSix 晶体传感器系统
核心功能：

• 用于 PVD（物理气相沉积）等薄膜沉积工艺的厚度监控

• 通过六晶体轮换设计，延长传感器使用寿命，减少停机时间

• 兼容 INFICON 薄膜控制器，实现全自动晶体切换与沉积速率监测

二、型号与配件解析

1. 传感器主体

2. 关键配件

三、CrystalSix 传感器技术参数

1. 性能指标

2. 物理特性

3. 公用设施要求

四、核心优势

1. 高性价比

• 单传感器集成六颗晶体，降低每晶体更换成本

• 气动驱动结构比电动方案成本低 30%，且无发热问题

2. 长寿命与高稳定性

• 非接触式气动切换，晶体定位误差＜0.1 mm

• 水冷设计维持晶体温度波动≤±1°C，确保测量精度

3. 工艺兼容性

• 支持 OLED、MBE、太阳能电池等长周期镀膜工艺

• 可搭配 INFICON XTC/2、XTC + 等控制器，实现多层膜实时监控

4. 易用性

• 前装式晶体更换，标配拆卸工具，维护时间＜5 分钟

• 即插即用设计，兼容现有真空系统馈通组件

五、典型应用场景

1. 显示面板制造

• OLED 面板有机层厚度监控（如空穴注入层、发光层）

• 触控屏 ITO 导电层均匀性控制

2. 光伏产业

• 太阳能电池减反射膜（AR）与背电极层沉积监测

• 钙钛矿电池多层膜快速切换工艺

3. 光学镀膜

• 相机镜头增透膜（≥10 层）连续沉积

• 激光器件高反射膜（HR）厚度精准控制

4. 半导体封装

• 先进封装技术（如 TSV、Fan-Out）中阻挡层与种子层监测

• 功率器件散热镀层厚度优化

六、安装与维护

1. 安装步骤

1. 真空腔室准备：

• 安装 CF 法兰馈通件（如 750-685-G1），确保水冷与气路密封

2. 传感器固定：

• 使用 #4-40 螺丝将传感器固定至法兰，扭矩 1.5–2 N・m

3. 管路连接：

• 水冷管采用不锈钢卡套接头（Ultra-Torr®），气管连接至电磁阀

4. 电气校准：

• 通过 INFICON 控制器执行晶体初始化，验证切换逻辑与信号稳定性

2. 维护计划

• 日常检查：

• 监控水冷流量与气压，确保在额定范围内

• 查看控制器日志，确认晶体切换计数与寿命状态

• 定期维护：

• 每沉积 50 批次后清洁传感器头部（用无水乙醇棉签）

• 每年校准晶体频率（需使用 INFICON 校准工具）

• 晶体更换：

• 当单晶体寿命耗尽（如沉积速率波动＞5%），通过前装工具更换新晶体

七、选型注意事项

1. 工艺匹配：

• 高温工艺（＞300°C）需选带快门型号（SPS-1039-G1），防止晶体提前老化

• 高真空环境（＜10⁻⁶ mbar）建议搭配分子泵，减少腔室污染影响

2. 系统兼容性：

• 不可用于 STM-2、SQM-160 等旧型号控制器，需升级至 XTC/3 或更高版本

• 电磁阀需用户自行安装限流孔（随传感器提供 PN 059-0189）

3. 配件采购：

• 推荐成套购买传感器与备件包（含备用晶体、弹簧等），缩短停机时间

• 快门组件（SPS-1039-G1）需额外配置驱动电源

八、符号与术语说明

• PVD：物理气相沉积（Physical Vapor Deposition），常见工艺包括溅射、蒸发

• CF 法兰：ConFlat® 法兰，高真空标准接口，适用压力范围 10⁻¹⁰–10² mbar

• SIL2：安全完整性等级（IEC 61508），此处指传感器符合功能安全要求（需搭配安全控制器）

• PN：零件编号（Part Number），用于 INFICON 全球供应链查询