UF-300 紫外线闪光固化系统

简介：

满足洁净室应用中对质量控制、精度和效率的最高要求。

适用于 300 毫米 (12 英寸) 晶圆或面积最大 400 平方毫米的基板

配备 10 英寸显示屏和软件，可设置和调整所有必要参数

剂量、强度和曝光时长均可按个位数选择；剂量均匀性 +/- 5%

660 个高性能紫外线 LED

包含氮气吹扫；可选配日志循环、API 功能和自动校准功能

一、产品描述

（一）核心性能

1. 高精度自动化：专为 UV 胶带固化设计，满足半导体行业对固化精度、重复性及生产质量的最高要求，实现高度专业化与自动化生产。

2. 高效产能：可处理最大 300 毫米晶圆，产量达每小时 360 片，曝光时间控制在 0.5-2.5 秒，显著提升生产效率。

3. 均匀能量分布：每个 LED 模块由电子驱动器独立控制，确保整个晶圆表面能量分布均匀性达 ±5%，保障固化质量一致性。

4. 智能参数控制：通过 10 英寸触摸屏输入薄膜制造商建议的曝光剂量（单位：mJ/cm²），支持剂量、强度（mW/mm²）、持续时间（s）等参数灵活调整，操作界面提供全程引导。

5. 数据追溯与校准：可选配 SW 功能及 UV 积分器，实现 UV 固化日志文件检索、常用配方存储，自动校正 LED 阵列使用寿命内的光衰损耗，确保长期稳定运行。

（二）定制化选项

1. 波长灵活性：可配备 405nm、385nm 等不同波长 LED，满足多样化工艺需求。

2. 集成兼容性：支持 API 控制接口，便于与工厂自动化系统集成；可定制为水冷型以提升最大曝光剂量，或作为集成模块嵌入大型半导体制造设备。

（三）安装与运行优势

1. 便捷部署：无需特殊安装，仅需连接氮气阀即可运行，适合洁净室环境快速导入。

2. 经济高效：低运行成本、紧凑占地面积（具体尺寸请参考技术图纸），已成为国际**企业洁净室应用的**设备。

（四）环保特性

采用平均波长 365nm 的 LED 光源，相比传统汞蒸气灯系统，开机即达工作状态，无预热等待；完全避免臭氧及汞气体排放，符合绿色制造标准。

二、工艺概述

操作流程

1. 上料准备：手动将安装好的晶圆与框架放置于 LED 阵列上方的保护玻璃上，确保胶带朝下。

2. 安全防护：关闭保护盖，系统通过冗余开关实时监控闭合状态，保障操作安全。

3. 参数设置：在 10 英寸显示屏上预设曝光参数（剂量、强度、持续时间），调用历史配方或创建新配方。

4. 启动固化：按下 "开始" 按钮，系统自动执行固化流程，全程显示实时状态与进度。

5. 完成卸料：固化完成后，打开保护盖，取出处理后的基材，进入下一循环。

三、软件包选件功能

（一）数据管理

1. 日志系统：记录关键信息包括日期 / 时间、配方类型（收藏夹）、剂量、强度、持续时间、氮气使用状态（是 / 否）、重复次数，支持按时间 / 配方类型检索，满足行业数据追溯要求。

2. 配方管理：创建包含重复参数的收藏夹配方，支持从日志或收藏夹快速上传 / 下载配方数据，便于多设备工艺同步与批量生产。

（二）校准功能

配备专用 UV 积分仪（与软件选件配套提供），支持引导式自动校准及 LED 老化实时校正，确保光源输出长期稳定，减少人工干预成本。

技术参数：
剂量：75 - 1200 mJ/cm²，个位数可调

固化面积：400mm x 400mm

晶圆尺寸：最大 Ø300mm（含框架）/ 最大 Ø400mm（不含框架）

框架：最大 Ø400mm（标准 DTF 2-12）

基板厚度：最小厚度可达数厘米

产量：每小时高达 300 片 (UPH)

宽度：440mm

深度：426mm

高度：200mm

重量：23.1kg

LED 数量：660

峰值波长：365nm +/- 3nm

每个 LED 的辐射通量：1050mW

剂量均匀性：整个 LED +/- 5%阵列

表面辐射强度：285mW/cm² @ 每个LED辐射通量1050mW

主电源：110-240 VAC，50/60 Hz

最大功耗：1600W

待机功耗：20W

氮气压力：3 bar

认证：CE认证，符合IEC 204-1安全标准