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瑞士INFICON BCG450 TripleGauge® 大气压至超高真空复合真空规
发布时间:2026-03-24

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一、基础产品信息

二、核心技术参数

项目规格
测量范围(空气 / O₂/CO/N₂)5×10⁻¹⁰ … 1500 mbar3.75×10⁻¹⁰ … 1125 Torr
精度10⁻⁸…50 mbar:±15% 读数50…950 mbar:±5% 读数950…1050 mbar:±2.5% 读数
重复性10⁻⁸…10⁻² mbar:±5% 读数
环境温度工作:0 … +50 ℃存储:-20 … +70 ℃
烘烤温度法兰处:80 ℃拆除电子单元后:150 ℃
供电20 … 28 VDC,0.8 A
真空接触材质Yt₂O₃、Ir、Mo、Cu、W、NiFe、NiCr、Al₂O₃、SnAg、不锈钢、玻璃
防护 / 设计电子单元电气隔离;可选 OLED 显示屏(可 90° 旋转)
合规RoHS 合规

三、产品核心优势

  1. 三合一复合设计电离规、皮拉尼规、电容膜片规于一体,替代热阴极、皮拉尼、真空开关 3 支传感器,大幅降低成本、节省设备安装空间。

  2. 宽量程全覆盖单次测量覆盖 5×10⁻¹⁰ mbar(超高真空)~1500 mbar(大气压),无需多支传感器切换。

  3. 高可靠性保护

    • 皮拉尼互锁保护,防止灯丝过早烧毁

    • 高真空皮拉尼自动校准,减少人工干预

    • 大气压差压测量,消除环境气压波动影响

  4. 易用与维护性

    • 可快速更换传感元件,自带校准数据,保证测量重复性

    • 可选 OLED 图形显示屏(90° 旋转安装)

    • 支持多种现场总线,适配现代化工控系统

  5. 气体适应性强>10 Torr 压力段与气体种类无关,对任何混合气体都能提供可靠的负载锁控制。

四、型号一览(按法兰 / 接口区分)

物料号型号规格
353-550BCG450,DN 25 ISO-KF
353-551BCG450,DN 40 CF-R
353-552BCG450 带 LCD,DN 25 ISO-KF
353-553BCG450 带 LCD,DN 40 CF-R
353-554BCG450-SP Profibus,DN 25 ISO-KF
353-556BCG450-SP Profibus,DN 40 CF-R
353-557BCG450-SD DeviceNet,DN 25 ISO-KF
353-558BCG450-SD DeviceNet,DN 40 CF-R
353-592/598BCG450-SE EtherCAT,DN 25 ISO-KF
353-593/599BCG450-SE EtherCAT,DN 40 CF-R
353-517BCG450-PN PROFINET,DN 25 ISO-KF
353-518BCG450-PN PROFINET,DN 40 CF-R

五、配件 & 备件

标准配件

备件

六、典型行业应用

  1. 半导体制造工艺腔体、传输腔体、负载锁腔体(Loadlock)真空测量

  2. 工业镀膜真空镀膜、PVD/CVD 设备全程真空监控

  3. 通用真空系统低真空 → 超高真空范围的真空测量与控制系统

  4. 科研 / 分析仪器高端真空设备、表面分析仪器真空监测


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