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德国ADL GX 50–GX 150 系列直流溅射电源
发布时间:2026-08-18

ADL数据手册 – GX 系列直流电源 (GX 50 – GX 150)

产品概述

GX 系列溅射电源能够自动消除每秒高达 40,000 次的弧光放电。该极强能力结合紧凑的机箱尺寸,使 GX 系列脱颖而出。电源可在满输出功率下无时间限制连续运行,且支持多台并联扩展功率。

外观类型:带显示屏、带状态LED、盲面板(无显示)、后视图、双单元(Duo-GX)开盖视图。


主要特点

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型号列表(直流输出)

型号输出功率输出电压输出电流订货号
GX 50/2505 kW250 V50 A07Z010
GX 50/8005 kW800 V14 A07Z005
GX 50/10005 kW1000 V10 A07Z015
GX 60/8006 kW800 V15 A07Z040
GX 60/10006 kW1000 V12 A07Z045
GX 80/8008 kW800 V20 A07Z090
GX 80/10008 kW1000 V16 A07Z099
GX 100/40010 kW400 V38 A07Z141
GX 100/60010 kW600 V30 A07Z142
GX 100/80010 kW800 V25 A07Z140
GX 100/100010 kW1000 V20 A07Z149
GX 120/20012 kW200 V60 A07Z151
GX 120/80012 kW800 V30 A07Z190
GX 150/80015 kW800 V38 A07Z240
GX 150/100015 kW1000 V30 A07Z249

选项与附件(详细参见《附件》数据手册)

类别型号/描述订货号
控制接口AS4 – 模拟接口(U/I/P 调节)01Y001

AS4F – 模拟接口,快速数据传输01Y021

AS6 – 模拟接口(U/I/P 限值设定)01Y061

Profibus DP01Y160

EtherCAT®01Y170

RS232/48501Y181
指示模块GX 显示屏01Y081

GX 状态 LED01Y071
连接器GX 连接器套装 X1/X2(Harting 直型)03Y220

GX 连接器套装 X1/X2(Harting 弯型)03Y240
水冷接头GX 水冷接头(Festo)04Y100

GX 水冷接头(Walther,默认)04Y400

Walther 直型接头04Y420

Walther 弯型接头04Y440
磁阀控制磁阀控制模块(24 V DC 输出)04Y035

24 V 磁阀带控制电缆(2 m)04Y030
其他输入电压 3×400 V(默认)10Y022

输入电压 3×440 V10Y025

输入电压 3×480 V10Y030

输入电压 3×208 V10Y015

Arc-Link(并联运行用)10Y100

偏压控制10Y040

19" 安装套件(单机)03Y093

19" 安装套件(双机 Duo)03Y091

远程控制器 RC 4006Y401

详细技术参数(按型号分组)

型号:GX 50/250、GX 50/800、GX 50/1000、GX 60/800、GX 60/1000

参数
输出功率5 kW (50系列) / 6 kW (60系列)
输出电压/电流参见型号列表
指示(选配)3½ 位数字显示(电流、电压、功率)
控制方式电流、电压或功率控制
运行模式外部通过控制接口
设定值0 ~ 100% 额定值(电流/电压/功率)
输出精度±1% 额定值(电流、电压、功率)
弧光抑制灭弧时间 6 µs ~ 3 ms 自动;延迟时间 6 µs ~ 10 ms 自动
输入电源
输入电压3×400 V ±10%,50/60 Hz,带PE(可选 440V / 480V / 208V)
熔断器3×16 A(50系列)/ 3×18 A(60/800)或 3×16 A(60/1000)
电源线4×1.5 mm²
电源连接器(X2)Harting Han-Modular Compact
功耗6 kVA(50系列)/ 6.6 kVA(60系列)
直流输出
输出电缆(推荐)JZ-600-Y-CY,截面见型号(50/250用2×10 mm²,其余50/60用2×2.5或2×2.0 mm²)
输出连接器(X1)Harting Han-Modular Compact
冷却
水冷流量 >1.5 L/min,压力 2~8 bar,水温 <40°C
水冷接头Walther CT-003(可选 Festo KQ2 10 mm)
水冷散热功率300 W
风冷内置风扇,最高环境温度 40°C
风冷散热功率45 W
风扇噪音Lpa < 70 dB(A)
机械尺寸
尺寸(不含插头)宽 216 mm(½ 19"),高 130 mm(3 HU),深 591.5 mm
重量(不含包装)21 kg

型号:GX 80/800、GX 80/1000、GX 100/400、GX 100/600、GX 100/800

参数
输出功率8 kW (80系列) / 10 kW (100系列)
输出电压/电流参见型号列表
指示(选配)3½ 位数字显示(电流、电压、功率)
控制方式电流、电压或功率控制
运行模式外部通过控制接口
设定值0 ~ 100% 额定值
输出精度±1% 额定值
弧光抑制同上(6 µs ~ 3 ms 灭弧,6 µs ~ 10 ms 延迟)
输入电源
输入电压3×400 V ±10%,50/60 Hz,PE(可选其他电压)
熔断器3×20 A(80系列)/ 3×30 A(100/400)或 3×20 A(其他100系列)
电源线4×2.5 mm²
电源连接器Harting Han-Modular Compact
功耗9 kVA(80系列)/ 11 kVA(100系列)
直流输出
输出电缆JZ-600-Y-CY,截面:80系列 2×2.5 mm²;100/400和100/600用2×6 mm²;100/800用2×4 mm²
输出连接器Harting Han-Modular Compact
冷却
水冷条件流量 >1.5 L/min,压力 2~8 bar,水温 <40°C
水冷接头Walther CT-003(可选 Festo)
水冷散热功率400 W(80系列)/ 500 W(100系列)
风冷内置风扇,最高环境温度 40°C
风冷散热功率50 W
风扇噪音Lpa < 70 dB(A)
机械尺寸
尺寸同前(宽216×高130×深591.5 mm)
重量23 kg

型号:GX 100/1000、GX 120/200、GX 120/800、GX 150/800、GX 150/1000

参数
输出功率10 kW / 12 kW / 15 kW(按型号)
输出电压/电流参见型号列表
指示(选配)3½ 位数字显示
控制方式电流、电压或功率控制
运行模式外部通过控制接口
设定值0 ~ 100% 额定值
输出精度±1% 额定值
弧光抑制同上
输入电源
输入电压3×400 V ±10%,50/60 Hz,PE(可选其他)
熔断器3×20 A(100/1000)/ 3×25 A(120系列和150系列)
电源线4×4 mm²(全部)
电源连接器Harting Han-Modular Compact
功耗11 kVA(100/1000)/ 13.2 kVA(120系列)/ 16.5 kVA(150系列)
直流输出
输出电缆JZ-600-Y-CY,截面:100/1000用2×4 mm²;120/200用2×16 mm²;120/800用2×6 mm²;150/800用2×6 mm²;150/1000用2×16 mm²
输出连接器Harting Han-Modular Compact
冷却
水冷条件同上
水冷接头Walther CT-003(可选 Festo)
水冷散热功率500 W(100/1000)/ 600 W(120系列)/ 750 W(150系列)
风冷内置风扇,最高环境温度 40°C
风冷散热功率50 W(100/1000)/ 60 W(120和150系列)
风扇噪音Lpa < 70 dB(A)
机械尺寸
尺寸同前(宽216×高130×深591.5 mm)
重量23 kg(100/1000、120系列)/ 25 kg(150系列)

一般说明


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