一、基本信息

• 产品名称：BRONKHORST 数字质量流量控制器（Digital Mass Flow Controller）

• 产品型号：F-201CV-20K-AGD-44-V

• 核心定位：高精度氩气专用流量控制设备，支持模拟量与数字通信双接口，适配中高压工业场景与实验室精密控制需求

• 校准特性：标配 3 点工厂校准证书（含氩气校准曲线），可选 5 点校准或 ISO17025 认证校准，确保测量准确性

二、产品描述

本品是一款聚焦 “精准控流、稳定耐用、场景适配广” 的数字质量流量控制器，核心优势如下：

1. 高精度流量控制：针对氩气（Ar）校准，流量范围 0.6~30 L/min，测量精度达 ±0.5% 测量值 ±0.1% 满量程，重复性优于 0.2% 测量值，可实现微克级流量精准调控；

2. 宽压力适配：进口压力（Vordruck）1.2~1.4 MPa，出口压力（Hinterdruck）0.3~0.8 MPa，压力等级 PN64（试验压力≥1.5 倍进口压力），适配中高压气体输送系统；

3. 耐用与兼容性：介质接触部件为 316 不锈钢（Edelstahl 1.4404），耐腐蚀性强，适配惰性气体、工业气体等；密封材料为 Viton 51415，耐高温、耐溶剂，延长设备使用寿命；

4. 灵活控制与通信：支持 4~20 mA 模拟量设定值输入与输出，搭配 RS232 数字接口，可连接 PLC 或电脑实现远程控制与数据采集；安装方式灵活（任意角度，表压≥10 bar 时需水平安装）；

5. 环境与温度适配：工作温度范围 - 10℃~+70℃，可在工业车间、实验室等多场景稳定运行，20℃标准工况下性能最优。

三、技术参数

四、应用行业

1. 半导体制造行业：用于 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、刻蚀工艺中的氩气流量精准控制，确保晶圆涂层厚度均匀或刻蚀精度达标；

2. 化工与材料行业：催化反应、气相合成过程中，精准调控氩气（惰性保护气）流量，防止反应物氧化，保障产物纯度；

3. 生物医药行业：生物发酵罐、无菌培养环境的氩气（厌氧环境保护气）流量控制，符合 GMP 标准，避免微生物污染；

4. 实验室与科研领域：高校、研究所的气体反应实验、材料表征（如 XRD、XPS）中的氩气载气 / 保护气流量校准与控制，适配精密实验需求；

5. 新能源行业：锂电池正极材料合成、氢能设备（如燃料电池）中的氩气纯化系统流量控制，确保材料合成效率与设备运行稳定性。

五、使用范围

• 介质限制：默认适配氩气（基于校准曲线），若需控制其他气体（如氮气、氦气），需提前定制对应气体校准曲线；禁止用于腐蚀性气体（如氯气、氟化氢）或含固体颗粒的气体；

• 系统条件：需满足进口压力 1.2~1.4 MPa、出口压力 0.3~0.8 MPa，超出范围可能导致流量控制精度下降；供电需稳定在 + 15~24 VDC，避免电压波动影响设备寿命；

• 安装要求：表压＜10 bar 时可任意角度安装，表压≥10 bar 时必须水平安装，防止重力导致内部部件偏移；进出口需使用 12 mm 卡套接头密封，避免气体泄漏；

• 环境要求：避免在粉尘浓度高、湿度＞85% 或有剧烈振动的环境使用，工作温度需控制在 - 10℃~+70℃，高温环境需搭配散热装置。