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VACGEN ZLVM940R 属于 LVM 系列全金属直角型手动真空泄漏阀，采用 DN16CF 双可旋转法兰结构，专为真空系统外部气源的精准、可重复气体流量控制设计，具备超细调节、低背隙、宽动态范围优势，304L 不锈钢阀体可耐受 450℃高温烘烤，是真空设备制造商实现高性价比精密进气控制的优选部件。
| 核心项 | 规格参数 |
|---|---|
| 品牌 | VACGEN |
| 产品型号 | ZLVM940R |
| 接口规格 | DN16CF，双法兰可旋转（2 x Rotatable） |
| 产品类型 | 全金属直角手动真空泄漏阀（Manual Leak Valve） |
| 阀体材质 | 304L 不锈钢 |
| 密封部件 | Mallory 密封垫 |
| 核心功能 | 真空系统外部气源精密可重复流量控制 |
| 适配场景 | 高真空 / 超高真空系统超细气体注入调节 |
| 类别 | 项目 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 压力性能 | 最大入口压力 | 10 bar（高稳定性控制） |
| 工作压力范围 | 最低 10⁻¹¹ mbar | |
| 关闭泄漏率 | ≤1×10⁻¹² mbar·l/s | |
| 开启导通率 | 0.1 l/s | |
| 温度性能 | 开启状态烘烤温度 | 450℃ |
| 关闭状态烘烤温度 | 250℃ | |
| 调节性能 | 调节机构 | 超细调节、最小背隙 |
| 辅助调节 | 可调刻度分度环 | |
| 动态范围 | 宽量程动态调节 | |
| 结构特性 | 安装方式 | 双 CF 可旋转法兰，适配多布局安装 |
| 维护性 | 用户可自行维护（User serviceable） | |
| 扩展选项 | 支持电动款定制 |
超细精密调节搭载低背隙超细调节机构，搭配可调刻度分度环，可实现真空系统气体流量的高精度、可重复控制，调节响应优异。
全金属耐高温设计304L 不锈钢阀体 + Mallory 密封垫，最高可450℃高温烘烤，适配高真空、超高真空系统的洁净工况要求。
双可旋转法兰，安装灵活DN16CF 双法兰支持自由旋转，可适配真空系统不同管路布局，大幅降低安装调试难度。
高密封 + 宽动态范围关闭泄漏率低至 1×10⁻¹² mbar・l/s，宽动态调节范围兼顾粗调与微调，几乎无滞后，内部容积小、抽速快。
高稳定性与易用性入口耐压 10 bar，运行稳定性强；结构支持用户自行维护，无需专业返厂，降低使用成本。
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