一、基础信息总览

品牌背景

VACGEN 是专业真空系统精密元件制造商，深耕高真空 / 超高真空阀门、检漏阀、真空控制组件领域，产品针对半导体、科研分析、真空镀膜、表面科学等严苛真空场景深度优化，以精准的微流量控制能力、极低的漏率性能、耐高温烘烤的超高真空适配性著称，是工业与科研真空系统微漏控制、气氛微调领域的主流专业供应商。

核心参数总表

二、核心产品优势

1. 双可旋转法兰，装配灵活无应力两端 CF 法兰均可独立旋转对位，安装时可自由调整对接角度，无需扭转真空管路与腔体即可完成法兰对齐，大幅降低装配应力与安装难度，适配布局复杂的真空腔体，现场调试与改造升级便捷高效。

2. 全压力量程覆盖，超高真空性能优异工作压力覆盖 10⁻¹¹ mbar 超高真空至 10 bar 正压全量程，304L 不锈钢阀体搭配 Mallory 合金密封垫，本底漏率极低，可稳定维持超高真空环境；支持 450℃高温烘烤除气，完全适配超高真空系统的预处理工艺要求，保障腔体极限真空度。

3. 精密微调机构，流量控制精准可控采用低回程间隙的精密传动机构，搭配可调刻度分度环，微流量调节分辨率高、重复性好；宽动态调节范围可实现从微小漏率到较大流量的连续平滑控制，满足真空检漏校准、工艺气氛微调、精确进气等精细化控制需求。

4. 用户可自主维护，全生命周期成本低模块化结构支持用户现场维护，无需返厂即可完成密封件更换、机构调试与校准，大幅降低超高真空系统的运维停机时间与长期使用成本，适配科研实验与工业量产线的连续运行需求。

5. 工业级坚固设计，多场景强适配全不锈钢本体耐腐蚀性强，机械结构稳定耐冲击，既适合实验室精密分析仪器的高精度真空控制，也可适配真空镀膜、半导体制造等工业量产场景，长期连续运行可靠性突出。

三、典型应用场景

• 半导体制造：晶圆工艺真空腔体的微漏进气、气氛微调、检漏校准

• 真空镀膜行业：磁控溅射、蒸发镀膜设备的工艺气氛精确控制、真空系统检漏

• 科研实验装置：同步辐射光束线、加速器、表面分析仪器的超高真空系统微流量控制

• 真空检漏系统：标准漏率校准、检漏仪标定、真空系统漏率模拟测试

• 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、X 射线光电子能谱仪的真空系统进气微调

• 真空热处理：高温真空烧结炉、钎焊炉的工艺气氛精确控制、微流量进气