EXPO 气体压缩包系统核心组件技术解析 | 防爆型吹扫流量传感器与压力监测方案

一、EXPO S0030/606 吹扫流量传感器

型号：S0030/606
类型：差压式吹扫流量传感器
核心功能：实时监测气体压缩包吹扫过程中的差压变化，确保吹扫效率与安全性，适用于爆炸性气体环境（如 Zone 0/1/21/22）。

技术特性：

1. 差压测量原理：

• 采用热式质量流量测量技术，内置温度补偿模块，消除环境温度波动对测量的影响（温度漂移≤0.02%/℃）。

• 精度校准需使用标准流量计（如 Bronkhorst EL-FLOW），并通过专用软件（如 EXPO Calibration Tool）写入序列号，确保溯源性。

2. 防爆设计：

• 铝制外壳（阳极氧化处理，防护等级 IP66），通过 ATEX/IECEx 认证，可在 - 20℃至 + 60℃环境下稳定工作。

• 本安型电路设计（最高表面温度 85℃），适用于含氢气、甲烷等爆炸性气体的区域。

3. 安装适配：

• 支持垂直或水平安装，建议与管道轴线平行，避免流体扰动。

• 标配 G1/8 螺纹接口，可选配卡套式接头（如 Swagelok SS-400-8），适配不同管径需求。

典型应用场景：

• 化工反应釜吹扫：实时监测吹扫气体流量，确保釜内残留危险气体浓度低于爆炸下限（LEL）。

• 制药无菌室净化：控制洁净室通风系统的压差，维持 ISO 5 级洁净度。

• 半导体晶圆制造：在 CVD 工艺中监测载气流量，保障薄膜沉积均匀性。