
品牌 / 型号:瑞士 Inficon(英福康) Pirani Standard Gauge PSG550 皮拉尼标准真空计,订货号 3PI1-001-0100。该产品是 Inficon PSG55x 系列的基础型号,采用数字化皮拉尼技术(Digital Pirani Technology),通过热传导原理测量真空度。本配置为无数字接口、无设定点的纯模拟输出版本,配备 KF16 真空法兰和 D-Sub 9针 电气连接器,模拟输出信号范围为 0.61 – 10.23 V,对应压力测量范围 5×10⁻⁵ 至 1000 mbar(约 3.8×10⁻⁵ 至 750 Torr)。传感器采用钨丝(Tungsten) 灯丝,重量仅 115 g,适用于前级真空测量、真空系统安全回路及通用真空监测等场景。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品牌 / 系列 | Inficon / PSG55x 系列(Pirani Standard Gauge) |
| 型号 / 订货号 | PSG550 / 3PI1-001-0100 |
| 测量原理 | 皮拉尼热传导(Pirani / Thermal Conductivity) |
| 传感器灯丝 | 钨丝(Tungsten) |
| 压力测量范围 | 5×10⁻⁵ – 1000 mbar(3.8×10⁻⁵ – 750 Torr) |
| 模拟输出信号 | 0.61 – 10.23 V(对应测量范围) |
| 精度(N₂) | ±50%(5×10⁻⁴ – 1×10⁻³ mbar);±15%(1×10⁻³ – 100 mbar);±50%(100 – 1000 mbar) |
| 重复性(N₂) | ±2%(1×10⁻³ – 100 mbar) |
| 响应时间 | < 10 ms |
| 输出阻抗 / 负载 | 2 × 4.7 Ω(短路保护)/ ≥ 10 kΩ |
| 真空法兰 | KF16 |
| 电气连接 | D-Sub 9 针 |
| 数字接口 / 设定点 | 无 / 无 |
| 供电电压 | +15 – +30 VDC |
| 功耗 | ≤ 2.5 W(无现场总线) |
| 工作温度(环境) | +10 – +50 °C |
| 存储温度 | -20 – +65 °C |
| 法兰处烘烤温度 | ≤ 80 °C(标准)/ ≤ 250 °C(长管型) |
| 最大允许压力 | 5 bar(**压力) |
| 重量 | 约 115 g |
| 合规标准 | CE、EN、UL、CSA、RoHS |
说明:精度数据为 Inficon 官方针对 N₂ 的标定值。皮拉尼真空计的读数依赖于气体种类,若测量气体与 N₂ 的热导率差异显著(如 He、H₂),需应用气体修正系数。
PSG550 的订货号 3PI1-001-0100 遵循 Inficon 的编码体系,各段含义如下:
| 代码段 | 含义 |
|---|---|
| 3PI1 | 产品系列:PSG55x Pirani Standard Gauge(3PIx 为 PSG 系列前缀) |
| 0 | 测量信号:0.61 – 10 V 模拟输出(本配置) |
| 0 | 接口:无(模拟) |
| 1 | 插座类型:D-Sub 9 针(FCC 为另一种选项) |
| -001 | 产品变体:标准产品,含 KF16 法兰等 |
| -0100 | 后缀:区分传感器类型、法兰规格等细节 |
注:编码中 “0” 对应测量信号 0.61–10.23 V,这与 PSG55x 系列其他可选输出(1.2–8.5 V、0.375–5.529 V 等)不同,选型替换时需核对控制系统输入范围是否匹配。
(1)皮拉尼热传导原理与宽量程覆盖
PSG550 基于皮拉尼原理:加热灯丝(钨丝)的散热速率取决于周围气体的热导率,而热导率与气体压力相关。在5×10⁻⁵ 至 1000 mbar 的宽范围内,该原理可实现从粗真空到中真空的连续测量。这一量程覆盖了前级真空(fore-vacuum) 监测、真空泵启动/停机判断以及安全回路触发等典型需求,使单台仪表即可替代多个分段量程的传感器。
(2)精度分层与气体依赖性
精度随压力区间变化:在 1×10⁻³ 至 100 mbar 的核心区间,精度为读数的 ±15%;在极低压(<1×10⁻³ mbar)和高压(>100 mbar)两端,精度放宽至 ±50%。重复性在核心区间为 ±2%,表明短期测量的稳定性良好。作为皮拉尼计,读数与气体种类相关——N₂ 标定值在 He、H₂ 等轻气体中会显著偏低,在 Ar、CO₂ 等重气体中会偏高。Inficon 手册提供了气体修正系数,在精密应用中需据此换算。
(3)模拟输出与系统集成
0.61–10.23 V 的模拟输出可直接接入 Inficon VCG401/402/403 控制器或其他兼容的真空控制器,无需数字接口即可完成压力读取。D-Sub 9 针连接器是工业真空测量的标准接口之一,配合 Inficon 信号电缆即可与大多数真空泵系统对接。响应时间 <10 ms 对于前级真空监控和安全联锁已足够迅速。
(4)钨丝灯丝与传感器可维护性
PSG550 采用钨丝传感器,是 PSG55x 系列的基础选项;针对腐蚀性更强的应用,同系列还提供镍丝(PSG552) 和全陶瓷涂层(PSG554) 版本。传感器元件支持即插即用更换,内置校准数据存储在传感器板上,更换后无需重新标定,保证了高重复性并降低了全生命周期成本。
(5)安装自由与诊断能力
PSG550 的测量性能与安装方向无关,为真空腔体的布局设计提供了灵活性。所有版本均配备诊断端口,可用于故障排查和状态监测,有助于在真空系统出现异常前进行预防性维护。
PSG550 的宽量程和纯模拟特性,定位于前级真空监测与通用真空控制:
前级真空(Fore-vacuum)测量:安装在机械泵或干泵的入口,监测泵的抽气能力,为涡轮分子泵的启动提供安全联锁信号。
真空系统安全回路:作为压力开关的模拟量来源,在压力超出设定范围时触发报警或保护动作。
镀膜、冻干、蒸馏等通用真空工艺:覆盖从粗真空到中真空的连续监测,无需多台分段仪表。
真空泵系统集成:配合 Inficon VCG 控制器或其他兼容控制器,组成完整的真空测量与控制链。
Inficon PSG550(订货号 3PI1-001-0100)是瑞士 Inficon 制造的皮拉尼标准真空计,属于 PSG55x 系列的基础模拟输出型号。测量范围 5×10⁻⁵ 至 1000 mbar,采用钨丝热传导传感器,模拟输出 0.61–10.23 V,配备 KF16 法兰和 D-Sub 9 针连接器,无数字接口、无设定点。精度在核心区间(1×10⁻³–100 mbar)为读数的 ±15%,重复性 ±2%,响应时间 <10 ms。供电 15–30 VDC,功耗 ≤2.5 W,重量仅 115 g。该真空计适用于前级真空测量、真空系统安全回路和通用真空工艺监测,可通过 Inficon 信号电缆与大多数真空泵系统集成,传感器支持即插即用更换,安装方向不受限制。
附注:
气体种类修正:皮拉尼计的读数是气体种类依赖的。出厂标定基于 N₂。若工艺气体为 He、H₂、Ar 或 CO₂ 等,需按 Inficon 手册中的修正系数换算,否则测量值会偏离实际压力。
输出信号匹配:本配置为 0.61–10.23 V 输出(编码中的“0”)。PSG55x 系列还有其他可选输出范围(如 1.2–8.5 V)。替换或接入控制器时,需确认控制器输入范围与真空计输出范围一致,避免量程映射错误。
“无设定点”的含义:本型号不含继电器设定点,压力阈值判断需由外部控制器(如 VCG401)或 PLC 通过模拟信号完成。若需要本地继电器输出,应选择带设定点的变体。
最大压力限制:5 bar(**压力) 为允许压力上限,超过此值可能导致传感器损坏。在系统吹扫或泄压操作中需确保压力不超过该限值。
安装方向:官方声明测量性能与安装方向无关,这简化了真空腔体上的布局约束,但仍建议避免安装在容易积聚颗粒或冷凝物的位置。

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