英国VACGEN品牌介绍

品牌概述

VACGEN 是一家专注于真空技术解决方案的英国工程公司，成立于 1970 年代初，总部位于英国牛津郡。作为全球真空系统领域的领导者，VACGEN 以 “精密、创新、可靠” 为核心，为半导体、国防航天、医疗、能源等行业提供从设计、原型开发到量产的全链条服务。公司拥有超过 50 年的真空室制造经验，客户涵盖 CERN、NASA、牛津大学等国际知名机构。

历史沿革

• 1970 年代：公司成立，初期专注于真空室设计与制造，服务于科研实验室。

• 1990 年代：扩展产品线至机电组件与精密运动系统，进入半导体与医疗领域。

• 2000 年代：建立洁净室组装设施，推出 UHV（超高真空）阀门与驱动系统，成为行业标杆。

• 2020 年至今：深化数字化研发，引入 AI 辅助设计工具，加速定制化解决方案交付。

核心产品线

1. 真空室（Vacuum Chambers）

• 类型：

• 标准真空室：支持压力范围 10⁻⁶ mbar 至 UHV 10⁻¹² mbar。

• 定制化真空室：适配特殊工艺需求（如高温、低温、磁场兼容）。

• 应用：

• 半导体光刻、薄膜沉积、材料分析。

2. XYZ 操纵器（XYZ Manipulators）

• 特点：

• 纳米级定位精度，支持 6 自由度运动。

• 兼容 UHV 环境，适用于扫描电子显微镜（SEM）、X 射线光电子能谱（XPS）。

• 应用：

• 材料科学研究、半导体器件测试。

3. 机电组件（Electromechanical Assemblies）

• 服务：

• 按图生产（Build-to-Print）或定制设计，涵盖传动系统、传感器集成。

• 优势：

• 洁净室组装，符合 ISO 14644-1 Class 5 标准。

• 应用：

• 医疗设备灭菌系统、太空模拟舱控制模块。

4. 驱动与运动系统（Drives & Motions）

• 产品：

• UHV 线性驱动（行程达 1 米）、旋转驱动（精度 ±0.01°）。

• 技术：

• 无磁材料设计，适配磁场敏感环境。

• 应用：

• 同步辐射光源光束线调整、粒子加速器部件定位。

5. UHV 阀门与配件

• 产品：

• 直角阀、泄漏阀、波纹管密封阀。

• 特点：

• 泄漏率 < 1×10⁻¹⁰ mbar・L/s，支持远程控制。

• 应用：

• 真空系统压力调节、气体注入控制。

应用领域

1. 半导体

• 场景：CVD 沉积、光刻胶涂布、晶圆检测。

• 方案：定制化真空室与高精度操纵器，确保工艺一致性。

2. 国防与航天

• 场景：卫星部件太空环境模拟、导弹制导系统测试。

• 方案：抗辐射真空室与耐极端温度驱动系统。

3. 医疗

• 场景：医用器械灭菌、植入物表面处理。

• 方案：洁净室级机电组件与蒸汽灭菌真空系统。

4. 能源

• 场景：核聚变反应堆真空环境维持、氢能制备。

• 方案：UHV 阀门与泄漏检测系统，保障安全性。

5. 科研实验室

• 场景：材料纳米结构分析、量子物理实验。

• 方案：XYZ 操纵器与低温真空系统，支持复杂实验设计。

技术优势

• 精密制造：配备坐标测量机（CMM），尺寸精度达 ±1μm。

• 定制化能力：从概念设计到认证测试的全流程支持。

• 洁净环境：ISO 5 级洁净室组装，避免颗粒污染。

服务网络

• 全球客户：覆盖 40 + 国家，包括 CERN、东京电子、飞利浦医疗等。

• 全生命周期支持：

• 原型开发：快速迭代设计，缩短产品上市时间。

• 维护升级：提供现场校准与备件更换服务。

英国VACGEN品牌产品

ZLVM940
ZLVM940R
ZLVM263
ZLVM263R

 

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