Edwards EH2600 系列机械增压泵技术文档

一、产品概述

品牌：Edwards
型号：

• EH2600 HC IE3 EU/CN 50HZ：标准型，使用碳氢油润滑

• EH2600 FX IE3 EU/CN 50HZ：耐腐蚀型，PFPE 预处理
  类型：液力驱动机械增压泵
  核心功能：高抽速真空增强，需配合前级泵使用，适用于工业、化工及半导体行业

二、技术参数表

三、功能特性

1. 高效真空增强

• 液力驱动设计，抽速达 2590 m³/h，配合前级泵实现快速抽空

• 最大压差 12000 Pa（50Hz），适应宽压力范围

2. 可靠性设计

• 铸铁转子与铝合金外壳，耐磨损与腐蚀

• 自动过载保护，防止前级泵故障导致损坏

3. 环境适应性

• IP44 防护等级，适合恶劣工业环境

• 水冷系统支持连续运行（进水温度≤30℃）

4. 特殊配置

• FX 系列：PFPE 预处理，兼容腐蚀性气体（如 Cl₂、H₂S）

• HC 系列：碳氢油润滑，适合常规工业应用

四、应用领域

• 半导体制造：晶圆沉积、刻蚀工艺真空增强

• 石油化工：反应釜、蒸馏塔压力控制

• 能源行业：天然气回收、煤层气抽采

• 科研实验室：大型真空系统集成

六、型号与配置

七、选型建议

八、安装与维护指南

1. 安装要求：

• 水平安装，预留至少 1 米维护空间

• 入口管道内径≥DN160，出口管道需配置止回阀

2. 维护周期：

• 每 200 小时检查油位，每 1000 小时更换真空泵油（HC 系列：Ultragrade 20；FX 系列：Fomblin YVAC 16/6）

• 每年校准压差传感器，确保密封性能

九、注意事项

1. 前级泵匹配：

• 必须搭配 Edwards 推荐前级泵，否则可能导致性能下降

2. 电源兼容性：

• 电压波动需≤±10%，频率偏差≤±2%

3. 水冷管理：

• 冷却水需使用软化水，避免水垢堵塞管道

（注：技术参数基于 Edwards 官方文档，特殊配置需联系制造商确认）