Edwards NEXT85D ISO63 NW16 80W 涡轮分子泵技术文档

一、产品概述

品牌：Edwards
型号：NEXT85D ISO63 NW16 80W
类型：混合轴承涡轮分子泵（D 型双级设计）
核心功能：超高真空生成（<5×10⁻⁹ mbar），适用于分析仪器、半导体及科研领域

二、技术参数表

三、功能特性

1. 混合轴承技术

• 磁悬浮上轴承 + 陶瓷下轴承，低振动（<5μm）、长寿命（≥10,000 小时）

2. 高效抽速与压缩比

• N₂压缩比 1×10¹¹，H₂压缩比 2×10⁵，适应轻 / 重气体混合环境

3. 集成电子控制

• 支持 RS485/RS232/USB 通信，兼容 Edwards TAG/TIC 控制器

4. 模块化设计

• 可更换油液与轴承，维护便捷（无需返厂）

• 标配入口粗滤网，防止颗粒污染

四、应用领域

• 分析仪器：质谱仪、电子显微镜

• 半导体：薄膜沉积、离子注入

• 科研实验室：真空镀膜、表面分析

• 医疗设备：X 射线管、激光系统

六、型号与配置

七、选型建议

八、安装与维护指南

1. 安装要求：

• 水平或垂直安装，预留至少 0.5 米散热空间

• 入口管道内径≥DN63，出口管道需配置止回阀

2. 维护周期：

• 每 200 小时检查油位，每 2000 小时更换润滑油（推荐 Edwards Ultragrade 20）

• 每年校准转速传感器，确保稳定性

九、注意事项

1. 前级泵匹配：

• 必须搭配 Edwards 推荐前级泵，否则可能导致性能下降

2. 电源兼容性：

• 电压波动需≤±10%，建议使用稳压电源

3. 冷却管理：

• 水冷型号需使用软化水，避免水垢堵塞管道

（注：技术参数基于 Edwards 官方文档，特殊配置需联系制造商确认）