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德国Edwards APG200-XM-NW25皮拉尼真空计
发布时间:2025-04-02

微信截图_20250402221628.png

Edwards APG200 系列皮拉尼真空计技术文档

一、产品概述

品牌:Edwards
型号


二、技术参数对比表

参数项APG200-XM-NW25APG200-MP-NW16APG200-XLC-NW25
灯丝材料钨铼合金(Tungsten/Rhenium)铂铱合金(Platinum/Iridium)铂铱合金(Platinum/Iridium)
测量范围大气压至 5×10⁻⁴ mbar大气压至 1×10⁻⁴ mbar大气压至 1×10⁻⁴ mbar
法兰接口NW25(ISO-K25)DN16CF(ISO 1601)NW25(ISO-K25)
信号输出模拟 0-10V模拟 0-10V模拟 0-10V
电源电压15-48 V DC15-48 V DC15-48 V DC
精度- 100 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±15%
- 其他区间:±50%
- 100 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±15%
- 其他区间:±50%
- 10 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±15%
- 其他区间:±50%
重复性100 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±2%100 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±2%10 mbar 至 1×10⁻³ mbar:±2%
兼容控制器TIC/TAC/ADCTIC/TAG/ADCTIC/TAC/ADC

三、功能特性

  1. 高精度测量

    • 100 mbar 至 1×10⁻³ mbar 区间精度 ±15%,适用于半导体工艺控制

  2. 材料兼容性

    • 不锈钢 316L/304L 材质,支持腐蚀性气体(如 O₂、Cl₂)

  3. 模块化设计

    • 可更换灯丝与电子模块,维护成本低

    • 支持 RS232/RS485 数字通信(需定制)

  4. 环境适应性

    • 耐烘烤(150℃,需移除电子模块)

    • IP40 防护等级,适合工业环境

四、应用领域

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