Edwards AIGX-D-NW25 有源电离真空计

一、产品概述

品牌：Edwards
型号：AIGX-D-NW25
类型：有源电离真空计（Bayard-Alpert 型）
核心功能：宽量程真空测量（6.6×10⁻² 至 6.6×10⁻¹⁰ mbar），适用于超高真空环境，支持自动灯丝保护与除气功能

二、技术参数表

三、功能特性

1. 宽量程与高精度

• 覆盖 8 个数量级（6.6×10⁻² 至 6.6×10⁻¹⁰ mbar），满足半导体、科研等领域需求

• 线性输出 1 V/decade，简化信号处理

2. 可靠性设计

• 氧化钇涂层铱丝增强抗腐蚀能力，延长使用寿命

• 自动灯丝保护（大气压下自动关闭）与除气功能

3. 模块化设计

• 可更换管体，维护成本低

• 支持 RS232/RS485 数字通信（需定制）

4. 环境适应性

• 耐烘烤（150℃，需移除电子模块）

• 低离子污染设计，适合洁净环境

四、应用领域

• 半导体制造：晶圆沉积、刻蚀工艺真空监测

• 科研实验室：粒子加速器、表面分析设备

• 航空航天：航天器模拟舱真空测试

• 医疗设备：电子显微镜、灭菌器真空控制

键参数说明

1. 系列差异：

• AIGX-S：RJ45/FCC68 接口，模拟 0-10V 输出（S 型曲线）

• AIGX-D：9 针 D 型接口，线性 1 V/decade 输出

2. 校准选项：

• 未校准：需用户自行校准

• 工厂校准：出厂前通过 CE 认证校准

3. 法兰类型：

• ISO-KF：NW25（DN25）快速法兰

• CF：DN16/DN40 超高真空法兰（需金属密封）

型号与配置

选型建议

注意事项

1. 安装要求：

• 确保法兰接口清洁，使用金属密封（如 NW25 的铜垫）

• 避免安装在高温（>60℃）或振动环境

2. 校准周期：

• 建议每 12 个月使用标准真空计校准一次

3. 维护提示：

• 更换灯丝后需重新校准零点

• 烘烤前务必移除电子模块

（注：技术参数基于 Edwards 官方文档，特殊配置需联系制造商确认）